SEM5000場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡是一款分辨率高、功能豐富的場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡。
先進(jìn)的鏡筒設(shè)計(jì),高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel)、低像差無(wú)漏磁物鏡設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了低電壓高分辨率成像,同時(shí)磁性樣品可適用。光學(xué)導(dǎo)航、完善的自動(dòng)功能、精心設(shè)計(jì)的人機(jī)交互,優(yōu)化的操作和使用流程,無(wú)論經(jīng)驗(yàn)是否豐富,都可以快速上手,完成高分辨率拍攝任務(wù)。
肖特基
場(chǎng)發(fā)射電子槍
1.0 nm @ 15 kV,SE
1.5 nm @ 1 kV,SE
0.8nm @ 30 kV,STEM
1 ~ 2,500,000 x
20 V ~ 30 kV
五軸全自動(dòng)樣品臺(tái)
分辨率高,低加速電壓下實(shí)現(xiàn)高分辨成像
電磁復(fù)合物鏡,減小像差,顯著提高低電壓下的分辨率,而且可觀(guān)察磁性樣品
高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel) ,在隧道中的電子能保持高能量,減少了空間電荷效應(yīng),低電壓分辨率得到保證
電子光路無(wú)交叉,有效的降低系統(tǒng)像差,提升分辨能力
水冷恒溫物鏡,保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復(fù)性
磁偏轉(zhuǎn)六孔可調(diào)光闌,自動(dòng)切換光闌孔,無(wú)需機(jī)械調(diào)節(jié),實(shí)現(xiàn)高分辨率觀(guān)察或大束流分析模式快速切換
關(guān)鍵參數(shù) | 分辨率 |
1.0?nm @ 15 kV,SE 0.8 nm @ 30 kV,STEM |
加速電壓 | 20 V ~ 30 kV | |
放大倍率 | 1 ~ 2,500,000 x | |
電子槍類(lèi)型 | 肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍 | |
樣品室 | 真空系統(tǒng) | 全自動(dòng)控制 |
攝像頭 |
雙攝像頭 (光學(xué)導(dǎo)航+樣品倉(cāng)內(nèi)監(jiān)控) |
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樣品臺(tái)行程 |
X: 120 mm,Y: 115 mm,Z: 50 mm (* 可選配超大倉(cāng)體版本) |
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探測(cè)器和擴(kuò)展 | 標(biāo)配 |
鏡筒內(nèi)高角度電子探測(cè)器 側(cè)向低角度電子探測(cè)器 |
選配 |
插入式背散射電子探測(cè)器 軌跡球 & 旋鈕控制板 |
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軟件 | 語(yǔ)言 | 中文 |
操作系統(tǒng) | Windows | |
導(dǎo)航 | 光學(xué)導(dǎo)航、手勢(shì)快捷導(dǎo)航 | |
自動(dòng)功能 | 自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散 |